DRIFT TUBE, APPARATUS AND ION IMPLANTER HAVING VARIABLE FOCUS ELECTRODE IN LINEAR ACCELERATOR

A drift tube may include a middle portion, arranged as a hollow cylinder, and coupled to receive an RF voltage signal. The drift tube may include a first end portion, adjacent to and electrically connected to the middle portion. The middle portion and the first end portion may define a central opening to conduct an ion beam therethrough, along a direction of beam propagation. The first end portion may include a first focus assembly, and a second focus assembly, where the first focus assembly and the second focus assembly are movable with respect to one another along the direction of beam propagation, from a first configuration to a second configuration. L'invention concerne un tube de dérive qui peut comprendre une partie centrale, agencée sous la forme d'un cylindre creux, et couplée pour recevoir un signal de tension RF. Le tube de dérive peut comprendre une première partie d'extrémité, adjacente à la partie centrale et électriquement connectée à celle-ci. La partie centrale et la première partie d'extrémité peuvent définir une ouverture centrale pour conduire un faisceau d'ions à travers celle-ci, le long d'une direction de propagation de faisceau. La première partie d'extrémité peut comprendre un premier ensemble de mise au point, et un second ensemble de mise au point, le premier ensemble de mise au point et le second ensemble de mise au point étant mobiles l'un par rapport à l'autre le long de la direction de propagation de faisceau, d'une première configuration à une seconde configuration.