METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING A BEAM TAIL OF A FOCUSED PARTICLE BEAM

The present invention relates to a method (1800) and an apparatus (1700) for determining an intensity distribution of at least one beam tail (120, 125, 130, 135) of a focused particle beam (100). The method (1800) comprises the steps of: (a) irradiating (1820) a test element (300, 500, 1100, 1400, 1600) with the focused particle beam (100) such that the at least one beam tail (120, 125, 130, 135) of the focused particle beam (100) causes at least one measurable change (620, 955, 1250, 1540, 1670) of the test element (300, 500, 1100, 1400, 1600); and (b) measuring (1830) the at least one change (620, 955, 1250, 1540, 1670) of the test element (300, 500, 1100, 1400, 1600) for the purposes of determining the intensity distribution of the at least one beam tail (120, 125, 130, 135) of the focused particle beam (100). La présente invention concerne un procédé (1800) et un appareil (1700) pour déterminer une distribution d'intensité d'au moins une queue de faisceau (120, 125, 130, 135) d'un faisceau de particules focalisé (100). Le procédé (1800) comprend les étapes consistant à : (a) irradier (1820) un élément de test (300, 500, 1100, 1400, 1600) avec le faisceau de particules focalisé (100) de sorte que l'au moins une queue de faisceau (120, 125, 130, 135) du faisceau de particules focalisé (100) provoque au moins un changement mesurable (620, 955, 1250, 1540, 1670) de l'élément de test (300, 500, 1100, 1400, 1600) ; et (b) mesurer (1830) l'au moins un changement (620, 955, 1250, 1540, 1670) de l'élément de test (300, 500, 1100, 1400, 1600) pour déterminer la distribution d'intensité de l'au moins une queue de faisceau (120, 125, 130, 135) du faisceau de particules focalisé (100).