SEM IMAGE ENHANCEMENT

Disclosed herein is a method of reducing a sample charging effect in a scanning electron microscope (SEM) image, the method comprising: obtaining a first SEM image of a target feature on a sample from a first electron beam scan in a first scanning direction; obtaining a second SEM image of the target feature on the sample from a second electron beam scan in a second scanning direction different from the first scanning direction; aligning the first SEM image and the second SEM image; and generating an output image based a combination of the first SEM image and the second SEM image. Est divulgué ici un procédé de réduction d'un effet de charge d'échantillon dans une image de microscope électronique à balayage (MEB), le procédé consistant : à obtenir une première image de MEB d'un élément cible sur un échantillon à partir d'un premier balayage de faisceau d'électrons dans une première direction de balayage ; à obtenir une seconde image de MEB de l'élément cible sur l'échantillon à partir d'un second balayage de faisceau d'électrons dans une seconde direction de balayage différente de la première direction de balayage ; à aligner la première image de MEB et la seconde image de MEB ; et à générer une image de sortie sur la base d'une combinaison de la première image de MEB et de la seconde image de MEB.