VAPORIZER ASSEMBLY

An assembly includes a vaporizer vessel. In some embodiments, the vaporizer vessel defines an interior volume. In some embodiments, the vaporizer vessel is configured to hold at least one source reagent within the interior volume. In some embodiments, the assembly includes a heater. In some embodime...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CARDOZO, Benjamin, BATTLE, Scott L
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An assembly includes a vaporizer vessel. In some embodiments, the vaporizer vessel defines an interior volume. In some embodiments, the vaporizer vessel is configured to hold at least one source reagent within the interior volume. In some embodiments, the assembly includes a heater. In some embodiments, the heater is configured to vaporize the at least one source reagent. In some embodiments, the heater is a radiant heat source configured to vaporize the at least one source reagent without heating the vaporizer vessel. Un ensemble comprend un récipient de vaporisation. Selon certains modes de réalisation, le récipient de vaporisation définit un volume intérieur. Selon certains modes de réalisation, le récipient de vaporisation est conçu pour contenir au moins un réactif source à l'intérieur du volume intérieur. Selon certains modes de réalisation, l'ensemble comprend un dispositif de chauffage. Selon certains modes de réalisation, le dispositif de chauffage est conçu pour vaporiser ledit réactif source. Selon certains modes de réalisation, le dispositif de chauffage est une source de chaleur rayonnante conçue pour vaporiser ledit réactif source sans chauffer le récipient de vaporisation.