QUICK SWAP CHUCK WITH VACUUM HOLDING INTERCHANGEABLE TOP PLATE

An apparatus for securing a substrate includes a detachable plate configured to reversibly attach to a base of a chuck. The base of the chuck includes one or more base-substrate vacuum inlet channels and one or more base-plate inlet channels. The detachable plate includes one or more first vacuum reservoirs and second vacuum reservoirs. The detachable plate is further configured to establish a fluidic connection between the one or more first vacuum reservoirs and the base-plate inlet channels for forming a first vacuum seal between the detachable plate and the base. The detachable plate further includes one or more pass-through channels for fluidic connection with the one or more second vacuum reservoirs for forming a second vacuum seal between the detachable plate and the substrate. Selon l'invention, un appareil servant à immobiliser un substrat comprend une plaque détachable configurée pour se fixer de manière réversible à une base d'un mandrin. La base du mandrin comprend un ou plusieurs conduits d'entrée d'aspiration base-substrat et un ou plusieurs conduits d'entrée base-plaque. La plaque détachable comprend un ou plusieurs premiers réservoirs sous vide et seconds réservoirs sous vide. La plaque détachable est en outre configurée pour établir une liaison fluidique entre le ou les premiers réservoirs sous vide et les conduits d'entrée base-plaque pour former un premier joint sous vide entre la plaque détachable et la base. La plaque détachable comprend en outre un ou plusieurs conduits traversants servant à la liaison fluidique avec le ou les seconds réservoirs sous vide pour former un second joint sous vide entre la plaque détachable et le substrat.