COMPUTER, PROGRAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM PROCESSING SYSTEM

The present invention provides a computer, a program, and a charged particle beam processing system, with which it is possible to reduce adjustment and setting work of conditions for observation or machining by an operator in an FIB-SEM composite device. This computer comprises: an information acquisition unit that acquires information relating to a recipe to be executed by a charged particle beam device provided with a charged particle irradiation optical system; and an information management unit that generates recipe management information on the basis of the information acquired by the information acquisition unit and stores the recipe management information in a storage unit. La présente invention concerne un ordinateur, un programme, et un système de traitement par faisceau de particules chargées, permettant de réduire les tâches de réglage et de configuration des conditions d'observation et d'usinage par un opérateur dans un dispositif composite FIB-MEB. Cet ordinateur comprend : une unité d'acquisition d'informations qui acquiert des informations relatives à une recette à exécuter par un dispositif à faisceau de particules chargées doté d'un système optique d'irradiation de particules chargées ; et une unité de gestion d'informations qui génère des informations de gestion de recette sur la base des informations acquises par l'unité d'acquisition d'informations et stocke les informations de gestion de recette dans une unité de stockage. ＦＩＢ－ＳＥＭ複合装置において、オペレーターによる観察あるいは加工の条件の調整および設定の作業を軽減することができるコンピュータ、プログラムおよび荷電粒子ビーム処理システムを提供する。荷電粒子照射光学系を備える荷電粒子ビーム装置で実行されるレシピに関する情報を取得する情報取得部と、前記情報取得部によって取得された情報に基づいてレシピ管理情報を生成して前記レシピ管理情報を記憶部に記憶する情報管理部と、を備えるコンピュータである。