MEASURING DEVICE, MACHINING SYSTEM AND METHOD FOR ADJUSTING A MEASURING DEVICE

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10; 10a) für ein Bearbeitungssystem (12; 12a) zum Bearbeiten eines Werkstücks (14; 14a) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (16; 16a), wobei die Messvorrichtung (10; 10a) umfasst: eine Strahlerzeugungseinheit (18; 18a), die dazu eingerichtet ist, einen Messstrahl (20; 20a) und einen Referenzstrahl (22; 22a) zu erzeugen, die zur Durchführung optischer Interferenzmessungen wie optischer Kohärenztomographie zur Interferenz bringbar sind; einen an die Strahlerzeugungseinheit (18; 18a) optisch angebundenen Messarm (24; 24a), in dem der Messstrahl (20; 20a) optisch geführt ist, sodass dieser auf das Werkstück (14; 14a) projizierbar ist; einen an die Strahlerzeugungseinheit (18; 18a) optisch angebundenen Referenzarm (26; 26a), in dem der Referenzstrahl (22; 22a) optisch geführt ist; sowie eine Messschnittstelle (28; 28a), über die der Messstrahl (20; 20a) in den Bearbeitungsstrahl (16; 16a) einkoppelbar ist; wobei die Messvorrichtung (10; 10a) ein Basismodul (30; 30a) und ein daran anschließbares oder angeschlossenes Wechselmodul (32; 32a) umfasst. Das Wechselmodul (32; 32a) umfasst einen Strahlführungsabschnitt (48a), der optische Komponenten (50a) zur Führung des Messstrahls (20a) und/oder des Referenzstrahls (22a) umfasst und der dazu eingerichtet ist, einen Mittelabschnitt (52; 52a) des Messarms (24; 24a) und/oder des Referenzarms (26; 26a) auszubilden. Die Erfindung betrifft ferner ein System mit einer Messvorrichtung (10; 10a) und mehreren Wechselmodulen (32, 32', 32''), ein Bearbeitungssystem (12; 12a) und ein Verfahren zum Einstellen einer Messvorrichtung (10; 10a). The invention relates to a measuring device (10; 10a) for a machining system (12; 12a) for machining a workpiece (14; 14a) by means of a high-energy machining beam (16; 16a), the measuring device (10; 10a) comprising: a beam generating unit (18; 18a) configured to generate a measurement beam (20; 20a) and a reference beam (22; 22a) which can be made to interfere for the purposes of carrying out optical interference measurements such as optical coherence tomography; a measurement arm (24; 24a) which is optically connected to the beam generating unit (18; 18a) and in which the measurement beam (20; 20a) is optically guided such that the latter can be projected onto the workpiece (14; 14a); a reference arm (26; 26a) which is optically connected to the beam generating unit (18; 18a) and in which the reference beam (22; 22a) is optically