RAMAN SPECTROSCOPIC ANALYSIS METHOD AND MICROSCOPIC RAMAN SPECTROSCOPY DEVICE

[Problem] To provide a Raman spectroscopic analysis method in which the number of laser light emissions at which a sample under analysis is damaged by laser light during multiple Raman spectroscopic measurements is specified and Raman scattered light data obtained when the sample under analysis was undamaged is used to analyze the structure of the sample under analysis. [Solution] A Raman spectroscopic analysis method in which obtained Raman scattered light is subjected to spectroscopy, an upper limit for the number of emissions at which a sample under analysis is not damaged is specified on the basis of the total scattering intensity in a specific wavenumber range and the ratios and correlation coefficients between the total scattering intensities in the specific wavenumber range for each emission and the total scattering intensity in the specific wavenumber range for the first emission, and data for the Raman scattered light for the number of emissions up to the upper limit is used. Le problème décrit par la présente invention est de fournir un procédé d'analyse spectroscopique Raman spécifiant le nombre d'émissions de lumière laser endommageant un échantillon en cours d'analyse lors de multiples mesures spectroscopiques Raman et où des données de lumière diffusée par effet Raman, obtenues sans endommagement de l'échantillon en cours d'analyse, servent à analyser la structure de l'échantillon en cours d'analyse. La solution porte sur un procédé d'analyse spectroscopique Raman où une lumière diffusée de Raman obtenue est soumise à une spectroscopie, où une limite supérieure du nombre d'émissions sans endommagement d'un échantillon en cours d'analyse est spécifiée d'après l'intensité de diffusion totale dans une plage spécifique de nombres d'ondes et où sont utilisés des rapports et des coefficients de corrélation entre les intensités de diffusion totale dans la plage spécifique de nombres d'ondes pour chaque émission et l'intensité de diffusion totale dans la plage spécifique de nombres d'ondes pour la première émission, d'une part, et des données pour la lumière diffusée de Raman pour le nombre d'émissions jusqu'à la limite supérieure, d'autre part. 【課題】本発明は複数回のラマン分光測定中に分析対象試料がレーザー光により損傷するレーザー光の照射回数を特定し、分析対象試料が未損傷の状態の時に得られたラマン散乱光のデータを使用し、分析対象試料の構造解析を行うラマン分光分析方法の提供すること。 【解決手段】得られたラマン散乱光を分光し特定の波数範囲における全散乱強度、１回目の照射の前記特定の波数範囲における全散乱強度に対する各照射の前記特定の波数範囲における前記全散乱強度の比、その相関係数から分析対象試料の損傷がない照射回数の上限を特定し、前記上限の照射回数までのラマン散乱光のデータを用いるラマン分光分析方法。