METHOD AND APPARATUS FOR IMPEDANCE MATCHING IN A POWER DELIVERY SYSTEM FOR REMOTE PLASMA GENERATION

A plasma-generation system is provided that includes a variable-frequency microwave generator configured to generate microwave power and a plasma applicator configured to use the microwave power from the microwave generator to (i) ignite a process gas therein for initiating a plasma in a plasma ignition process and (ii) maintain the plasma in a steady state process. The system also includes a coarse tuner connected between the microwave generator and the plasma applicator. At least one physical parameter of the coarse tuner is adapted to be set to achieve coarse impedance matching between the microwave generator and the plasma generated during both the plasma ignition process and the steady state process. A load impedance of the plasma generated during the plasma ignition process and the steady state process is adapted to vary. The microwave generator is configured to tune an operating frequency at the set physical parameter of the coarse tuner. Un système de génération de plasma est prévu comprenant un générateur de micro-ondes à fréquence variable conçu pour générer une puissance micro-ondes et un applicateur de plasma conçu pour utiliser la puissance micro-ondes provenant du générateur de micro-ondes pour (i) allumer un gaz de traitement à l'intérieur de celui-ci pour initier un plasma dans un processus d'allumage par plasma et (ii) maintenir le plasma dans un processus à l'état stable. Le système comprend également un syntoniseur approximatif connecté entre le générateur de micro-ondes et l'applicateur de plasma. Au moins un paramètre physique du syntoniseur approximatif est conçu pour être réglé pour obtenir une adaptation d'impédance approximative entre le générateur de micro-ondes et le plasma généré pendant le processus d'allumage par plasma et le processus à l'état stable. Une impédance de charge du plasma généré pendant le processus d'allumage par plasma et le processus à l'état stable est conçue pour varier. Le générateur de micro-ondes est conçu pour ajuster une fréquence de fonctionnement sur le paramètre physique défini du syntoniseur approximatif.