POINT-OF-USE ULTRASONIC HOMOGENIZER FOR CMP SLURRY AGGLOMERATION REDUCTION

Exemplary slurry delivery assemblies may include a slurry fluid source. The assemblies may include a flurry delivery lumen having a lumen inlet and a lumen outlet. The lumen inlet may be fluidly coupled with an output of the slurry fluid source. The assemblies may include a deagglomeration tube flui...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHOU, Chih Chung, TANG, Jianshe, POLLARD, Chad, BROWN, Brian J, CHANG, Shou-Sung, SOUNDARARAJAN, Hari N, WU, Haosheng
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL GRINDING MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY PERFORMING OPERATIONS POLISHING SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Exemplary slurry delivery assemblies may include a slurry fluid source. The assemblies may include a flurry delivery lumen having a lumen inlet and a lumen outlet. The lumen inlet may be fluidly coupled with an output of the slurry fluid source. The assemblies may include a deagglomeration tube fluidly coupled with the lumen outlet. The deagglomeration tube may include a tube inlet and a tube outlet. The assemblies may include one or more ultrasonic transducers coupled with the deagglomeration tube. Des exemples d'ensembles de distribution de boue peuvent comprendre une source de fluide de boue. Les ensembles peuvent comprendre une lumière de distribution de boue ayant une entrée de lumière et une sortie de lumière. L'entrée de lumière peut être couplée de manière fluidique à une sortie de la source de fluide de boue. Les ensembles peuvent comprendre un tube de désagglomération couplé de manière fluidique à la sortie de lumière. Le tube de désagglomération peut comprendre une entrée de tube et une sortie de tube. Les ensembles peuvent comprendre un ou plusieurs transducteurs ultrasonores couplés au tube de désagglomération.