HYBRID HIGH-POWER AND BROADBAND VARIABLE IMPEDANCE MODULES

A power supply system includes a RF generator, a matching network, and a control module. The matching network includes at least one mechanically variable impedance element and at least one electrically variable impedance element. The control module is coupled to the matching network and configured to generate one or more signals to adjust at least one of an impedance of the mechanically variable impedance element or an impedance of the electrically variable impedance element to vary an impedance match between the generator and a load. In other examples, a hybrid variable impedance module includes at least one mechanically variable impedance element, at least one electrically variable impedance element, and a control module. The control module is configured to generate one or more signals to adjust at least one of an impedance of the mechanically variable impedance element or an impedance of the electrically variable impedance element. Un système d'alimentation électrique comprend un générateur RF, un réseau d'adaptation et un module de commande. Le réseau d'adaptation comprend au moins un élément à impédance variable mécaniquement et au moins un élément à impédance variable électriquement. Le module de commande est relié au réseau d'adaptation et est conçu pour générer un ou plusieurs signaux servant à ajuster une impédance de l'élément à impédance variable mécaniquement et/ou une impédance de l'élément à impédance variable électriquement pour faire varier une correspondance d'impédance entre le générateur et une charge. Dans d'autres exemples, un module à impédance variable hybride comprend au moins un élément à impédance variable mécaniquement, au moins un élément à impédance variable électriquement, et un module de commande. Le module de commande est conçu pour générer un ou plusieurs signaux servant à ajuster une impédance de l'élément à impédance variable mécaniquement et/ou une impédance de l'élément à impédance variable électriquement.