BLENDED ENERGY ION IMPLANTATION

Ion implantation systems and methods implant varying energies of an ion beam across a workpiece in a serial single-workpiece end station, where electrodes of an acceleration / deceleration stage, bend electrode and/or energy filter control a final energy or path of the ion beam to the workpiece. The bend electrode or an energy filter can form part of the acceleration / deceleration stage or can be positioned downstream. A scanning apparatus scans the ion beam and/or the workpiece, and a power source provides varied electrical bias signals to the electrodes. A controller selectively varies the electrical bias signals concurrent with the scanning of the ion beam and/or workpiece through the ion beam based on a desired ion beam energy at the workpiece. A waveform generator can provide the variation and synchronize the electrical bias signals supplied to the acceleration / deceleration stage, bend electrode and/or energy filter. La présente invention concerne des systèmes et des procédés d'implantation ionique faisant varier les énergies d'un faisceau ionique à travers une pièce dans une station terminale de pièce unique en série, dans lesquels des électrodes d'un étage d'accélération/décélération, une électrode courbée et/ou un filtre d'énergie commandent une énergie ou un trajet final du faisceau ionique jusqu'à la pièce. L'électrode courbée ou un filtre d'énergie peut faire partie de l'étage d'accélération/décélération ou peut être positionné(e) en aval. Un appareil de balayage balaye le faisceau ionique et/ou la pièce, et une source de puissance fournit divers signaux de polarisation électrique aux électrodes. Un dispositif de commande fait varier sélectivement les signaux de polarisation électrique en même temps que le balayage du faisceau ionique et/ou de la pièce à travers le faisceau ionique sur la base d'une énergie de faisceau ionique souhaitée au niveau de la pièce à travailler. Un générateur de forme d'onde peut fournir la variation et synchroniser les signaux de polarisation électrique fournis à l'étage d'accélération/décélération, à l'électrode courbée et/ou au filtre d'énergie.