COMPOSITIONS AND METHODS FOR THE ELECTRODEPOSITION OF NANOTWINNED COPPER

A copper electrolyte comprising a copper salt, a source of halide ions, and a linear or branched polyhydroxyl. The copper electrolyte is used to deposit copper having a high density of nanotwinned columnar copper grains on a substrate. The linear or branched polyhydroxy] may comprise a reaction prod...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RICHARDSON, Thomas, WHITTEN, Kyle, NAJJAR, Elie, YE, Pingping, HAN, Jianwen, BRAYE, Stephan
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROFORMING ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES METALLURGY NANOTECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS SEMICONDUCTOR DEVICES SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A copper electrolyte comprising a copper salt, a source of halide ions, and a linear or branched polyhydroxyl. The copper electrolyte is used to deposit copper having a high density of nanotwinned columnar copper grains on a substrate. The linear or branched polyhydroxy] may comprise a reaction product between 2,3-epoxy-1-propanol and an amine compound. A leveler comprising a polymeric quaternary nitrogen species and/or an accelerator comprising an organic sulfur compound may also be added to the copper electrolyte so long as the nanotwinned columnar copper grains are maintained. L'invention concerne un électrolyte à base de cuivre comprenant un sel de cuivre, une source d'ions halogénure et un polyhydroxyle linéaire ou ramifié. L'électrolyte à base de cuivre est utilisé pour déposer du cuivre présentant une densité élevée de grains de cuivre colonnaires nanojumelés sur un substrat. Le polyhydroxyle linéaire ou ramifié peut comprendre un produit de réaction entre le 2,3-époxy-1-propanol et un composé amine. Un niveleur comprenant une espèce d'azote quaternaire polymère et/ou un accélérateur comprenant un composé soufré organique peu(ven)t également être ajouté(s) à l'électrolyte à base de cuivre tant que les grains de cuivre colonnaires nanojumelés sont conservés.