CLOSED CELL PRESSURE SENSOR

The present disclosure concerns a system (100) for measuring external force. The system comprises a substrate (1) forming a set of closed pockets (2) having at least a flexible wall (3) deforming as function of the external force and an enclosed MEMS devices 4, configured to cause variation of an electric signal as function of a pressure (P) inside the pocket. The flexible wall is provided with an outwards protruding shape configured to flex inwards into the pocket in presence of the external force and provided with a resilient means configured to recover the outwards protruding shape absent the external force. La présente divulgation concerne un système (100) permettant de mesurer une force externe. Le système comprend un substrat (1) formant un ensemble de poches fermées (2) comportant au moins une paroi souple (3) se déformant en fonction de la force externe et des dispositifs MEMS enfermés (4), configurés pour provoquer une variation d'un signal électrique en fonction d'une pression (P) à l'intérieur de la poche. La paroi souple est pourvue d'une forme en saillie vers l'extérieur configurée pour fléchir vers l'intérieur dans la poche en présence de la force externe et pourvue d'un moyen élastique configuré pour reprendre la forme faisant saillie vers l'extérieur en l'absence de la force externe.