SUBSTRATE SCANNING APPARATUS WITH PENDULUM AND ROTATABLE SUBSTRATE HOLDER

A method of scanning a substrate includes immobilizing a substrate on a substrate holder within a processing chamber and performing a pass of a parallel raster pattern by synchronously driving a first rotary drive and a second rotary drive to move the substrate relative to a processing apparatus focused on a localized spot on the substrate, the first rotary drive being coupled to a proximal end of a pendulum arm and the second rotary drive being mounted at a distal end of the pendulum arm and to the substrate holder. Driving the first rotary drive during the pass includes moving the pendulum arm in a first arc motion for a first portion of the pass while the localized spot is on the substrate, and then moving the pendulum arm in an opposite second arc motion for a second portion of the pass while the localized spot is on the substrate. L'invention concerne un procédé de balayage d'un substrat, qui consiste à immobiliser un substrat sur un porte-substrat à l'intérieur d'une chambre de traitement et réaliser un passage d'un motif de trame parallèle par l'entraînement, de manière synchrone, d'un premier élément d'entraînement rotatif et d'un second élément d'entraînement rotatif pour déplacer le substrat par rapport à un appareil de traitement focalisé sur un point localisé sur le substrat, le premier élément d'entraînement rotatif étant couplé à une extrémité proximale d'un bras de pendule et le second élément d'entraînement rotatif étant monté à une extrémité distale du bras de pendule et sur le porte-substrat. L'entraînement du premier élément d'entraînement rotatif pendant le passage consiste à déplacer le bras de pendule selon un premier mouvement arqué pour une première partie du passage tandis que le point localisé est sur le substrat, et à déplacer ensuite le bras de pendule selon un second mouvement arqué opposé pour une seconde partie du passage tandis que le point localisé est sur le substrat.