METROLOGY METHOD AND METROLOGY DEVICE

Disclosed is a metrology device operable to measure a sample with measurement radiation and associated method. The metrology device comprises: an illumination branch operable to propagate measurement radiation to a sample, a detection branch operable to propagate one or more components of scattered radiation, scattered from said sample as a result of illumination of the sample by said measurement radiation; and a dispersive arrangement in either of said illumination branch or said detection branch. The dispersive arrangement is arranged to maintain one or more components of said scattered radiation at substantially a same respective location in a detection pupil plane over a range of wavelength values for said measurement radiation. L'invention concerne un dispositif de métrologie pouvant être utilisé pour mesurer un échantillon avec un rayonnement de mesure et un procédé associé. Le dispositif de métrologie comprend : une branche d'éclairage pouvant être utilisée pour propager un rayonnement de mesure vers un échantillon, une branche de détection pouvant être utilisée pour propager un ou plusieurs composants du rayonnement diffusé ayant été diffusé par ledit échantillon suite à l'éclairage de l'échantillon par ledit rayonnement de mesure ; et un agencement dispersif situé dans l'une ou l'autre de ladite branche d'éclairage ou de ladite branche de détection. L'agencement dispersif est conçu pour maintenir un ou plusieurs composants dudit rayonnement diffusé sensiblement à un même emplacement respectif dans un plan de pupille de détection dans une plage de valeurs de longueur d'onde pour ledit rayonnement de mesure.