AN INSPECTION TOOL, METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

Disclosed herein is a tool for assessing a hole property of one or more holes in a component of a lithographic apparatus, the tool comprising: an assessment substrate; a fluid supply configured to supply a jet of fluid from each of the one or more holes to a first surface of the assessment substrate, wherein the fluid is supplied at a fluid temperature such that the one or more jets of fluid cause local temperature variations in at least part of the assessment substrate; and an infrared sensor configured to sense a temperature distribution of the assessment substrate in dependence on the local temperature variations. Est divulgué un outil d'évaluation d'une propriété de trou d'un ou de plusieurs trous dans un composant d'un appareil lithographique, l'outil comprenant : un substrat d'évaluation ; une alimentation en fluide configurée pour fournir un jet de fluide à partir de chacun du ou des trous vers une première surface du substrat d'évaluation, le fluide étant fourni à une température de fluide de telle sorte que le ou les jets de fluide provoquent des variations locales de température dans au moins une partie du substrat d'évaluation ; et un capteur infrarouge configuré pour détecter une distribution de température du substrat d'évaluation en fonction des variations locales de température.