SEMITRANSPARENT SUBSTRATE SUPPORT FOR MICROWAVE DEGAS CHAMBER

Embodiments of substrate supports for use in microwave degas chambers are provided herein. In some embodiments, a substrate support for use in a microwave degas chamber includes a support plate having one or more support features for supporting a substrate; a susceptor comprising a plate disposed on the support plate, wherein the susceptor includes one or more openings, wherein the one or more support features extend through corresponding ones of the one or more openings; and a metal foil disposed beneath a side of the susceptor facing the support plate. L'invention concerne des modes de réalisation de supports de substrat destinés à être utilisés dans des chambres de dégazage à micro-ondes. Dans certains modes de réalisation, un support de substrat destiné à être utilisé dans une chambre de dégazage à micro-ondes comprend une plaque de support ayant un ou plusieurs éléments de support pour supporter un substrat ; un suscepteur comprenant une plaque disposée sur la plaque de support, le suscepteur comprenant une ou plusieurs ouvertures, l'un ou plusieurs éléments de support s'étendant à travers des ouvertures correspondantes parmi l'une ou plusieurs ouvertures ; et une feuille métallique disposée sous un côté du suscepteur faisant face à la plaque de support.