MEMS MICROPHONE

A microelectromechanical (MEMS) transducer includes a substrate, a moveable electrode supported by the substrate, and a pair of fixed electrodes supported by the substrate, each fixed electrode of the pair of fixed electrodes being configured as a bias or sense electrode. The pair of fixed electrodes are disposed in a stacked arrangement. An end of the moveable electrode is configured for vibrational movement along the stacked arrangement during excitation of the moveable electrode. The pair of fixed electrodes are laterally spaced apart from the end of the moveable electrode to establish a capacitance indicative of the vibrational movement. L'invention concerne un transducteur de microsystème électromécanique (MEMS) qui comprend un substrat, une électrode mobile supportée par le substrat et une paire d'électrodes fixes supportées par le substrat, chaque électrode fixe de la paire d'électrodes fixes étant configurée en tant qu'électrode de polarisation ou de détection. La paire d'électrodes fixes est disposée dans un agencement empilé. Une extrémité de l'électrode mobile est conçue pour un mouvement vibratoire dans l'agencement empilé pendant l'excitation de l'électrode mobile. La paire d'électrodes fixes est espacée latéralement de l'extrémité de l'électrode mobile pour établir une capacité indicative du mouvement vibratoire.