IMPROVED MEMS SWITCH FOR RF APPLICATIONS

Microelectromechanical systems (MEMS) switches are disclosed. Parallel configurations of back-to-back MEMS switches are disclosed in some embodiments. An isolation connection of constant electrical potential may be made to a midpoint of the back-to-back switches. In some embodiments, a separate MEMS...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BAI, Jiawen, LAMBKIN, Paul, FITZGERALD, Padraig, BRENNAN, Philip James, GOGGIN, Raymond C, MCAULIFFE, Donal P, LAMPEN, James Lee, AHERNE, David, MAJUMDER, Sumit, SCHIRMER, Mark, TWOHIG, Michael James, BURKE, Cillian, STENSON, Bernard Patrick
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:Microelectromechanical systems (MEMS) switches are disclosed. Parallel configurations of back-to-back MEMS switches are disclosed in some embodiments. An isolation connection of constant electrical potential may be made to a midpoint of the back-to-back switches. In some embodiments, a separate MEMS switch is provided as a shunt switch for the main MEMS switch. MEMS switch device configurations having multiple switchable signal paths each coupling a common input electrode to a respective output electrode are also disclosed. The MEMS switch device includes shunt switches each coupling a respective output electrode to a reference potential. The presence of a shunt switch coupled to an output electrode enhances the isolation of the signal path corresponding to that output electrode when the path is open. L'invention concerne des commutateurs de systèmes microélectromécaniques (MEMS). Certains modes de réalisation concernent des configurations parallèles de commutateurs MEMS dos à dos. Une connexion d'isolation de potentiel électrique constant peut être amenée à un point médian des commutateurs dos à dos. Dans certains modes de réalisation, un commutateur MEMS séparé est fourni sous la forme d'un commutateur de dérivation pour le commutateur MEMS principal. L'invention concerne également des configurations de dispositif de commutation MEMS ayant de multiples trajets de signal commutables, chacun couplant une électrode d'entrée commune à une électrode de sortie respective. Le dispositif de commutation MEMS comprend des commutateurs de dérivation couplant chacun une électrode de sortie respective à un potentiel de référence. La présence d'un commutateur de dérivation couplé à une électrode de sortie améliore l'isolation du trajet de signal correspondant à cette électrode de sortie lorsque le trajet est ouvert.