CONSISTENT KNOWN VOLUME LIQUID METAL OR METAL ALLOY TRANSFER FROM ATMOSPHERIC TO VACUUM CHAMBER

Methods and systems for the delivery of molten metals and metal alloys at a fixed volume are provided. The system includes an evaporation system having a fluid inlet port and a fluid delivery system. The fluid delivery system includes an ampoule operable to hold a source material. The ampoule includ...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RAMACHANDRAPPA, PrasannaKalleshwara Buddappa, SIVARAMAKRISHNAN, Visweswaren, LIM, Vicente M, HERLE, Subramanya P, KUNDU, Sambhu Nath
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Methods and systems for the delivery of molten metals and metal alloys at a fixed volume are provided. The system includes an evaporation system having a fluid inlet port and a fluid delivery system. The fluid delivery system includes an ampoule operable to hold a source material. The ampoule includes a fluid outlet port and a gas inlet port. The fluid delivery system further includes a fluid delivery line operable to deliver the source material to the evaporation system. The fluid delivery line includes a first end fluidly coupled with the fluid outlet port and a second end fluidly coupled to the fluid inlet port. The fluid delivery line further includes a first isolation valve disposed along the fluid delivery line and a second isolation valve disposed along the fluid delivery line which define a fixed volume of the fluid delivery line. L'invention concerne des procédés et des systèmes pour la distribution de métaux et d'alliages métalliques fondus à un volume fixe. Le système comprend un système d'évaporation ayant un orifice d'entrée de fluide et un système de distribution de fluide. Le système de distribution de fluide comprend une ampoule conçue pour contenir un matériau source. L'ampoule comprend un orifice de sortie de fluide et un orifice d'entrée de gaz. Le système de distribution de fluide comprend en outre une conduite de distribution de fluide conçue pour distribuer le matériau source au système d'évaporation. La conduite de distribution de fluide comprend une première extrémité couplée de manière fluidique à l'orifice de sortie de fluide et une seconde extrémité couplée de manière fluidique à l'orifice d'entrée de fluide. La conduite de distribution de fluide comprend en outre une première vanne d'isolement disposée le long de la conduite de distribution de fluide et une seconde vanne d'isolement disposée le long de la conduite de distribution de fluide qui définissent un volume fixe de la conduite de distribution de fluide.