DEPRESSURIZATION DRYING DEVICE, DEPRESSURIZATION DRYING METHOD, AND METHOD FOR SHORTENING TIME REQUIRED FOR DEPRESSURIZATION DRYING PROCESS
Provided is a depressurization drying device that dries a solution on a substrate in a depressurized state, wherein said device comprises a processing container that is configured to be depressurizable and that contains a substrate, a mounting base which is provided in the processing container and o...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | Provided is a depressurization drying device that dries a solution on a substrate in a depressurized state, wherein said device comprises a processing container that is configured to be depressurizable and that contains a substrate, a mounting base which is provided in the processing container and on which the substrate is mounted, a solvent-collecting part that collects a solvent in the solution vaporized from the substrate and discharged into the processing container along with a depressurization drying process, and a cooling part that cools the solvent-collecting part heated when the depressurized state in the processing container is terminated.
L'invention concerne un dispositif de séchage par dépressurisation qui sèche une solution sur un substrat à un état dépressurisé, ledit dispositif comprenant un récipient de traitement qui est conçu pour être dépressurisable et qui contient un substrat, une base de montage qui est disposée dans le récipient de traitement et sur laquelle le substrat est monté, une partie de collecte de solvant qui collecte un solvant dans la solution vaporisée à partir du substrat et évacuée dans le récipient de traitement conjointement avec un processus de séchage par dépressurisation, et une partie de refroidissement qui refroidit la partie de collecte de solvant chauffée à l'achèvement de l'état dépressurisé dans le récipient de traitement.
基板上の溶液を減圧状態で乾燥させる減圧乾燥装置であって、減圧可能に構成され、前記基板を収容する処理容器と、前記処理容器内に設けられ、前記基板が載置される載置台と、減圧乾燥処理に伴い前記基板から気化し前記処理容器内に放出された前記溶液中の溶媒を捕集する溶媒捕集部と、前記処理容器内の減圧状態を解除した際に昇温した前記溶媒捕集部を冷却する冷却部と、を備える。 |
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