MONITORING A FLAME TREATMENT DEVICE
Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Überwachung einer Beflammunsgsvorrichtung und insbesondere eine Substratbehandlungsanlage mit einer Beflammunsgsvorrichtung sowie ersten und zweiten Substratüberwachungseinheiten. The present invention relates very generally to the monitoring of...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!