MONITORING A FLAME TREATMENT DEVICE

Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Überwachung einer Beflammunsgsvorrichtung und insbesondere eine Substratbehandlungsanlage mit einer Beflammunsgsvorrichtung sowie ersten und zweiten Substratüberwachungseinheiten. The present invention relates very generally to the monitoring of...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BRECHTL, Giani, HASENSTAB, Kathrin, RÜBSAM, Felix, RÜTH, Edgar
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Überwachung einer Beflammunsgsvorrichtung und insbesondere eine Substratbehandlungsanlage mit einer Beflammunsgsvorrichtung sowie ersten und zweiten Substratüberwachungseinheiten. The present invention relates very generally to the monitoring of a flame treatment device and in particular to a substrate treatment system having a flame treatment device and first and second substrate monitoring units. La présente invention concerne de manière très générale la surveillance d'un dispositif de traitement à la flamme et, en particulier, un système de traitement de substrat comprenant un dispositif de traitement à la flamme et des première et seconde unités de surveillance de substrat.