SHADOW RING ALIGNMENT FOR SUBSTRATE SUPPORT

A system to align a shadow ring on a substrate support includes a baseplate of the substrate support, an alignment recess defined within an upper surface of the baseplate, a shadow ring, an upper alignment groove defined in a lower surface of the shadow ring, an alignment block disposed within the alignment recess, and an alignment feature disposed between the shadow ring and the alignment block. The alignment feature extends into the upper alignment groove defined in the lower surface of the shadow ring. Un système d'alignement d'une bague d'ombrage sur un support de substrats comprend : une plaque de base du support de substrats ; un évidement d'alignement, défini au sein d'une surface supérieure de la plaque de base ; une bague d'ombrage ; une rainure supérieure d'alignement, définie dans une surface inférieure de la bague d'ombrage ; un bloc d'alignement, disposé au sein de l'évidement d'alignement ; et un élément d'alignement, disposé entre la bague d'ombrage et le bloc d'alignement. L'élément d'alignement s'étend jusqu'à la rainure supérieure d'alignement définie dans la surface inférieure de la bague d'ombrage.