TEMPERATURE CONDITIONING SYSTEM, A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND A METHOD OF TEMPERATURE CONDITIONING AN OBJECT

The invention provides a temperature conditioning system using conditioning liquid to condition a temperature of an object, comprising a conditioning conduit, a return conduit, a supply chamber, and a discharge chamber wherein the temperature conditioning system is arranged to provide a static press...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WATERSON, Nicholas, VAN DE MEERENDONK, Remco, PEKELDER, Sven, VAN SANTVOORT, Johannes, JACOBS, Johannes, DIRECKS, Daniel, JANSSEN, Gerardus, NAKIBOGLU, Günes, KLUGKIST, Joost, OUDES, Jaap, VAN DER NET, Antonius, VAN LIPZIG, Jeroen
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention provides a temperature conditioning system using conditioning liquid to condition a temperature of an object, comprising a conditioning conduit, a return conduit, a supply chamber, and a discharge chamber wherein the temperature conditioning system is arranged to provide a static pressure difference between the supply chamber outlet and the discharge chamber inlet to create a flow through the conditioning conduit. A lithography apparatus and a method of temperature conditioning an object is also described. L'invention concerne un système de conditionnement de température utilisant un liquide de conditionnement pour conditionner une température d'un objet, le système comprenant un conduit de conditionnement, un conduit de retour, une chambre d'alimentation et une chambre de décharge, le système de conditionnement de température étant conçu pour fournir une différence de pression statique entre la sortie de la chambre d'alimentation et l'entrée de la chambre de décharge pour créer un écoulement dans le conduit de conditionnement. L'invention concerne également un appareil de lithographie et un procédé de conditionnement de la température d'un objet.