IMPROVED ISOLATOR FOR PROCESSING CHAMBERS

Apparatus and methods for reducing undesirable residue material deposition and buildup on one or more surfaces within a processing chamber are provided herein. In embodiments disclosed herein, a processing chamber includes a chamber body having a chamber base, one or more sidewalls, and a chamber lid defining a processing volume; a showerhead disposed in the chamber lid and having a bottom surface adjacent the processing volume; and an isolator disposed between the chamber lid and the one or more sidewalls. The isolator includes a first end contacting the showerhead; a second end opposite the first end; an angled inner wall connected to the first end and extending radially outwardly from the first end towards the second end; and a lower inner wall at a different angle from the angled inner wall. The first end and the angled inner wall of the isolator form a first angle less than 90°. L'invention concerne des appareils et des procédés pour réduire le dépôt et l'accumulation de matériau résiduel indésirable sur une ou plusieurs surfaces à l'intérieur d'une chambre de traitement. Dans des modes de réalisation divulgués ici, une chambre de traitement comprend un corps de chambre ayant une base de chambre, une ou plusieurs parois latérales et un couvercle de chambre définissant un volume de traitement ; une pomme de douche disposée dans le couvercle de chambre et ayant une surface inférieure adjacente au volume de traitement ; et un isolateur disposé entre le couvercle de chambre et la ou les parois latérales. L'isolateur comprend une première extrémité en contact avec la pomme de douche ; une seconde extrémité opposée à la première extrémité ; une paroi interne inclinée reliée à la première extrémité et s'étendant radialement vers l'extérieur depuis la première extrémité vers la seconde extrémité ; et une paroi interne inférieure selon un angle différent de la paroi interne inclinée. La première extrémité et la paroi interne inclinée de l'isolateur forment un premier angle inférieur à 90°.