VACUUM PUMP AND METHOD FOR MONITORING A VACUUM PUMP

Vacuum pump (1; 100) comprising a gas injection device (20) comprising at least one pipe (21) configured to be linked to a gas source and to inject a gas flow into the vacuum pump (1; 100) comprising at least one gas flow presence detector (22) comprising at least two calibrated orifices (23, 24) mounted in series in the pipe (21), and a pressure sensor (25) configured to measure a pressure in the pipe (21), between the calibrated orifices (23, 24), a monitoring unit (26) linked to the pressure sensor (25) and configured to detect a gas flow fault as a function of the measurement of the pressure sensor (25). La présente invention concerne une pompe à vide (1 ; 100) comprenant un dispositif d'injection de gaz (20) comprenant au moins un tuyau (21) configuré pour être relié à une source de gaz et pour injecter un flux de gaz dans la pompe à vide (1 ; 100) comprenant au moins un détecteur de présence d'écoulement de gaz (22) comprenant au moins deux orifices calibrés (23, 24) montés en série dans le tuyau (21), et un capteur de pression (25) configuré pour mesurer une pression dans le tuyau (21), entre les orifices calibrés (23, 24), une unité de surveillance (26) reliée au capteur de pression (25) et configurée pour détecter un défaut d'écoulement de gaz en fonction de la mesure du capteur de pression (25).