METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION OF AT LEAST ONE LAYER, OPTICAL ELEMENT AND OPTICAL ARRANGEMENT
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden mindestens einer Schicht (2) aus einem ionisch gebundenen Festkörper auf einem Substrat (3), umfassend die Schritte: Überführen eines Beschichtungsmaterials (8) in die Gasphase, sowie Abscheiden des in die Gasphase überführten Beschichtungsmaterial...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
Schlagworte: | |
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