METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITION OF AT LEAST ONE LAYER, OPTICAL ELEMENT AND OPTICAL ARRANGEMENT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden mindestens einer Schicht (2) aus einem ionisch gebundenen Festkörper auf einem Substrat (3), umfassend die Schritte: Überführen eines Beschichtungsmaterials (8) in die Gasphase, sowie Abscheiden des in die Gasphase überführten Beschichtungsmaterials (8) auf dem Substrat (3). Die Schicht (2) wird während des Abscheidens mit UV/VIS-Licht (11a, 11b) bestrahlt. Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung (1) zur Abscheidung mindestens einer Schicht (2) aus einem ionisch gebundenen Festkörper, umfassend: eine Beschichtungskammer (4) mit einer Halterung (5) für ein Substrat (3), sowie mindestens eine Beschichtungsquelle (7), die ausgebildet ist, ein Beschichtungsmaterial (8) in die Gasphase zu überführen und innerhalb der Beschichtungskammer (4) als Schicht (2) auf dem Substrat (3) abzuscheiden. Die Vorrichtung (1) umfasst eine oder mehrere UV/VIS-Lichtquellen (12a, 12b) zur Bestrahlung der Schicht (2) mit UV/VIS-Licht (11a, 11b) während des Abscheidens. Die Erfindung betrifft auch ein optisches Element mit einem Substrat (3), das mit mindestens einer solchen Schicht (2) beschichtet ist, sowie eine optische Anordnung mit mindestens einem solchen optischen Element. The invention relates to a method of depositing at least one layer (2) of an ionically bonded solid on a substrate (3), comprising the steps of: converting a coating material (8) to the gas phase, and depositing the coating material (8) converted to the gas phase on the substrate (3). The layer (2) is irradiated with UV/VIS light (11a, 11b) during the deposition. The invention also relates to an apparatus (1) for deposition of at least one layer (2) of an ionically bonded solid, comprising: a coating chamber (4) having a holder (5) for a substrate (3), and at least one coating source (7) designed to convert a coating material (8) to the gas phase and to deposit it as a layer (2) on the substrate (3) within the coating chamber (4). The apparatus (1) has one or more UV/VIS light sources (12a, 12b) for irradiation of the layer (2) with UV/VIS light (11a, 11b) during the deposition. The invention also relates to an optical element having a substrate (3) coated with at least one such layer (2), and to an optical arrangement comprising at least one such optical element. L'invention concerne un procédé de dépôt d'au moins une couche (2) d'un solide à liaison ionique sur un substrat (3), comprenant les étapes consistant à : convertir un matériau de revêtemen