DISPLACEMENT DETECTOR, ARRAY OF DISPLACEMENT DETECTORS AND METHOD OF MANUFACTURING A DISPLACEMENT DETECTOR

A displacement detector comprises a substrate (SUB), a membrane (MEM) having an inner surface (INS) facing the substrate. A mounting area (MAR) is arranged to fix the membrane along at least part of the perimeter (PER) of the membrane, wherein the mounting area, the inner surface and the substrate enclose a back volume (VOL). An optical sensor (SEN) further comprising a resonant light source (SRC) is arranged in a flip-chip configuration, and forms a self- mixing interferometer with respect to the inner surface. The optical sensor is operable to generate a sensor signal indicative of a displacement of the membrane. Un détecteur de déplacement comprend un substrat (SUB), une membrane (MEM) ayant une surface interne (INS) faisant face au substrat. Une zone de montage (MAR) est agencée pour fixer la membrane le long d'au moins une partie du périmètre (PER) de la membrane, dans laquelle la zone de montage, la surface intérieure et le substrat enferment un volume arrière (VOL). Un capteur optique (SEN) comprenant en outre une source de lumière résonante (SRC) est disposé dans une configuration de puce retournée, et forme un interféromètre à mélange automatique par rapport à la surface intérieure. Le capteur optique peut être utilisé pour générer un signal de capteur indiquant un déplacement de la membrane.