METHOD FOR MANUFACTURING INDIVIDUAL PROCESSED WORKPIECE WITH RESIN FILM, AND APPARATUS FOR MANUFACTURING INDIVIDUAL PROCESSED WORKPIECE WITH RESIN FILM

A method for manufacturing an individual processed workpiece (21) with a resin film in which steps from a lamination step (g) of forming a laminate by laminating an energy ray-curable resin film-formed film (13) on a surface (14'b) opposite to the circuit surface (14a) of a workpiece having the circuit surface or a processed workpiece (14') obtained by processing the workpiece, to a curing step (k) of forming a resin film (13') by irradiating the resin film-formed film (13) and an energy beam are implemented in an inline process. Procédé de fabrication d'une pièce traitée individuelle (21) avec un film de résine dans lequel des étapes, allant d'une étape de stratification (g) consistant à former un stratifié par stratification d'un film formé de film de résine durcissable par rayonnement d'énergie (13) sur une surface (14'b) opposée à la surface de circuit (14a) d'une pièce présentant la surface de circuit ou d'une pièce traitée (14') obtenue par traitement de la pièce, à une étape de durcissement (k) consistant à former un film de résine (13') par irradiation du film formé de film de résine (13) et d'un faisceau d'énergie, sont mise en œuvre dans un processus en ligne. 回路面を有するワーク若しくはワークを加工することにより得られるワーク加工物（１４'）の回路面（１４ａ）とは反対側の面（１４'ｂ）に、エネルギー線硬化性の樹脂膜形成フィルム（１３）を積層して積層体を形成する積層工程（ｇ）から、樹脂膜形成フィルム（１３）に対してエネルギー線照射して樹脂膜（１３'）を形成する硬化工程（ｋ）までをインラインプロセスで実行する、樹脂膜付き個片化ワーク加工物（２１）の製造方法。