LED CHUCK

This LED chuck comprises: a top plate on which an object being inspected is mounted; an LED array substrate that is arranged facing the object being inspected, and that is provided with a plurality of LEDs for heating the object being inspected that is mounted on the top plate; a cooling plate arranged at the reverse-surface side of the LED array substrate; an LED control substrate that is arranged at the reverse-surface side of the cooling plate and that controls the plurality of LEDs; and a base plate arranged to surround the LED control substrate. The surface of the cooling plate facing the LED control substrate and the surface of the base plate facing the LED control substrate are composed of a magnetic material. L'invention concerne un mandrin À DEL comprenant : une plaque supérieure sur laquelle est monté un objet inspecté ; un substrat matriciel de DEL qui est disposé face à l'objet inspecté, et qui comporte une pluralité de DEL pour chauffer l'objet inspecté qui est monté sur la plaque supérieure ; une plaque de refroidissement disposée au niveau du côté de surface arrière du substrat matriciel de DEL ; un substrat de commande de DEL qui est disposé au niveau du côté de surface arrière de la plaque de refroidissement et qui commande la pluralité de DEL ; et une plaque de base agencée pour entourer le substrat de commande de DEL. La surface de la plaque de refroidissement faisant face au substrat de commande de DEL et la surface de la plaque de base faisant face au substrat de commande de DEL sont composées d'un matériau magnétique. 被検査体が載置されるトッププレートと、前記被検査体に対向して配置され、前記トッププレートに載置される被検査体を加熱する複数のＬＥＤが設けられたＬＥＤアレイ基板と、前記ＬＥＤアレイ基板の裏面側に配置されるクーリングプレートと、前記クーリングプレートの裏面側に配置されて前記複数のＬＥＤを制御するＬＥＤ制御基板と、前記ＬＥＤ制御基板を囲むように配置されるベースプレートと、を備え、前記クーリングプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面及び前記ベースプレートの前記ＬＥＤ制御基板に対向する面は、磁性体材料からなるＬＥＤチャック。