CHAMBER DEVICE AND MANUFACTURING METHOD FOR ELECTRONIC DEVICE

A chamber device (CH) is provided with an inside housing (50) that includes a passage port through which light generated by excitation of a laser gas in an interior space passes; and an outside housing (70) that surrounds at least part of the inside housing (50) from sides in the traveling direction of the light. The chamber device (CH) is provided with a partition wall (80) disposed between the inside housing (50) and the outside housing (70) and secured to the inside housing (50) and the outside housing (70). Le dispositif de chambre (CH) de l'invention est équipé : d'un boîtier côté interne (50) qui contient un orifice de passage au travers duquel passe une lumière générée par excitation d'un gaz laser dans un espace de partie interne ; et d'un boîtier côté externe (70) qui entoure au moins une partie du boîtier côté interne (50) depuis un côté dans la direction de progression de la lumière. En outre, ce dispositif de chambre (CH) est équipé d'une paroi de séparation (80) disposée entre le boîtier côté interne (50) et le boîtier côté externe (70), et est fixé sur le boîtier côté interne (50) et le boîtier côté externe (70). チャンバ装置（ＣＨ）は、内部空間においてレーザガスの励起によって発生する光が通過する通過口を含む内側筐体（５０）と、光の進行方向の側方から内側筐体（５０）の少なくとも一部を囲う外側筐体（７０）とを備える。また、チャンバ装置（ＣＨ）は、内側筐体（５０）及び外側筐体（７０）の間に配置され、内側筐体（５０）及び外側筐体（７０）に固定される隔壁（８０）を備える。