DIGITAL HOLOGRAPHIC MICROSCOPE AND ASSOCIATED METROLOGY METHOD

Disclosed is a method of correcting a holographic image, a processing device, a dark field digital holographic microscope, a metrology apparatus and an inspection apparatus. The method comprises obtaining the holographic image; determining at least one attenuation function due to motion blur from th...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CRAMER, Hugo, TENNER, Vasco, COENE, Willem, RAUB, Alexander, KOEK, Wouter, SOKOLOV, Sergei, DEN BOEF, Arie, VAN DE WIJDEVEN, Jeroen
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS HOLOGRAPHY PHOTOGRAPHY PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Disclosed is a method of correcting a holographic image, a processing device, a dark field digital holographic microscope, a metrology apparatus and an inspection apparatus. The method comprises obtaining the holographic image; determining at least one attenuation function due to motion blur from the holographic image; and correcting the holographic image or a portion thereof using the at least one attenuation function. L'invention concerne un procédé de correction d'une image holographique, un dispositif de traitement, un microscope holographique numérique en champ sombre, un appareil de métrologie et un appareil d'inspection. Le procédé comprend l'obtention de l'image holographique ; la détermination d'au moins une fonction d'atténuation due au flou animé à partir de l'image holographique ; et la correction de l'image holographique ou d'une partie de celle-ci à l'aide de la ou des fonctions d'atténuation.