FLOOD COLUMN AND CHARGED PARTICLEAPPARATUS

Disclosed herein is a flood column for projecting a charged particle flooding beam along a beam path towards a sample to flood the sample with charged particles prior to assessment of the flooded sample using an assessment column, the flood column comprising: an anchor body arranged along the beam path; a lens arrangement arranged in a down-beam part of the flood column; and a lens support arranged between the anchor body and the lens arrangement; wherein the lens support is configured to position the lens arrangement and the anchor body relative to each other; the lens support comprises an electrical insulator; and the lens support is in the direct line of sight of at least a portion of the beam path in the down-beam part. Est divulguée ici une colonne d'injection servant à projeter un faisceau d'injection de particules chargées le long d'un trajet de faisceau en direction d'un échantillon pour injecter l'échantillon avec des particules chargées avant l'évaluation de l'échantillon injecté à l'aide d'une colonne d'évaluation, la colonne d'injection comprenant : un corps d'ancrage disposé le long du trajet de faisceau ; un agencement de lentilles disposé dans une partie de faisceau descendant de la colonne d'injection ; et un support de lentille disposé entre le corps d'ancrage et l'agencement de lentille ; le support de lentille étant conçu pour positionner l'agencement de lentille et le corps d'ancrage l'un par rapport à l'autre ; le support de lentille comprenant un isolant électrique ; et le support de lentille se trouvant dans la ligne de visée directe d'au moins une partie du trajet de faisceau dans la partie de faisceau descendant