PRESSURE SENSOR, GLASS WAFER AND PRODUCTION METHOD

The present invention relates to a glass article as well as its use in a pressure sensor. The invention also relates to a method for the production of the glass article. La présente invention concerne un article en verre ainsi que son utilisation dans un capteur de pression. L'invention concern...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PEUCHERT, Ulrich, WIEGEL, Thomas, OMAR, Mohd Sairul Nizam, RUCKES, Jonathan Leon, LANGSDORF, Andreas, HINDRIKSEN, Christoph, BÜLLESFELD, Frank, JOTZ, Matthias, GLACKI, Alexander
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a glass article as well as its use in a pressure sensor. The invention also relates to a method for the production of the glass article. La présente invention concerne un article en verre ainsi que son utilisation dans un capteur de pression. L'invention concerne également un procédé de fabrication de l'article en verre.