APPARATUS COMPRISING AN ELECTROSTATIC CLAMP AND METHOD

An electrostatic clamp for clamping an object, the electrostatic clamp comprising an electroadhesive layer comprising a plurality of conductive compressible material elements coated with insulating material, wherein the electroadhesive layer is configured to electrically change adhesion to the objec...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MAKARENKO, Ksenia, DOLGOV, Alexandr, VAN DE KERKHOF, Marcus
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	An electrostatic clamp for clamping an object, the electrostatic clamp comprising an electroadhesive layer comprising a plurality of conductive compressible material elements coated with insulating material, wherein the electroadhesive layer is configured to electrically change adhesion to the object for clamping and unclamping the object, wherein the elements have an average diameter in a range of 1-100nm, preferably 5-20nm. L'invention porte sur une pince électrostatique pour serrer un objet, la pince électrostatique comprenant une couche électro-adhésive comprenant une pluralité d'éléments en matériau compressible conducteur revêtus d'un matériau isolant, la couche électro-adhésive étant conçue pour changer électriquement l'adhérence à l'objet afin de serrer et desserrer l'objet, les éléments ayant un diamètre moyen dans une plage de 1 à 100 nm, de préférence de 5 à 20 nm.