MACHINE LEARNING FOR CLASSIFYING RETAINING RINGS

A method for optimizing polishing includes, for each respective retaining ring of a plurality of retaining rings mounted on a particular carrier head, performing measurements for a bottom surface of the respective retaining ring mounted on the particular carrier head using a coordinate measurement machine and collecting a respective removal profile of a substrate polished using the respective retaining ring. A machine learning model is trained based on the measurements of the bottom surface of the retaining ring and the respective removal profiles. Un procédé d'optimisation de polissage comprend, pour chaque bague de retenue respective d'une pluralité de bagues de retenue montées sur une tête de support particulière, la réalisation de mesures pour une surface inférieure de la bague de retenue respective montée sur la tête de support particulière à l'aide d'une machine de mesure de coordonnées et la collecte d'un profil d'élimination respectif d'un substrat poli à l'aide de la bague de retenue respective. Un modèle d'apprentissage automatique est formé sur la base des mesures de la surface inférieure de la bague de retenue et des profils d'élimination respectifs.