OPTICAL ASSEMBLY, METHOD FOR DEFORMING AN OPTICAL ELEMENT, AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEM

Die Erfindung betrifft eine optische Baugruppe (1), aufweisend ein optisches Element (2) zur Beeinflussung des Strahlengangs in einer Projektionsbelichtungsanlage (100, 200) und eine Aktuatoreinrichtung (6) zur Deformation des optischen Elements (2). Es ist vorgesehen, dass die Aktuatoreinrichtung (...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SCHNEIDER, Eva, LORENZ, Maike, HOFFMANN, Tim, SCHURER, Johannes, MITEV, Vladimir, MACK, Ruediger
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine optische Baugruppe (1), aufweisend ein optisches Element (2) zur Beeinflussung des Strahlengangs in einer Projektionsbelichtungsanlage (100, 200) und eine Aktuatoreinrichtung (6) zur Deformation des optischen Elements (2). Es ist vorgesehen, dass die Aktuatoreinrichtung (6) wenigstens eine photostriktive Komponente (7) und wenigstens eine Lichtquelle (8) aufweist. Die photostriktive Komponente (7) ist zur Übertragung einer Zug- und/oder Druckkraft mit dem optischen Element (2) mechanisch gekoppelt, um das optische Element (2) zu deformieren. Die Lichtquelle (8) ist zur gezielten Beleuchtung der photostriktiven Komponente (7) eingerichtet ist, um die Zug- und/oder Druckkraft in der photostriktiven Komponente (7) zu induzieren. The invention relates to an optical assembly (1), comprising an optical element (2) for influencing the beam path in a projection exposure system (100, 200) and an actuating device (6) for deforming the optical element (2). According to the invention, the actuating device (6) has at least one photostrictive component (7) and at least one light source (8). The photostrictive component (7) is mechanically coupled to the optical element (2) for transmitting a traction and/or pressure force in order to deform the optical element (2). The light source (8) is configured for the targeted illumination of the photostrictive component (7) in order to induce the traction and/or pressure force in the photostrictive component (7). L'invention concerne un ensemble optique (1), comprenant un élément optique (2) pour influencer le trajet du faisceau dans un système d'exposition par projection (100, 200) et un dispositif d'actionnement (6) pour déformer l'élément optique (2). Selon l'invention, le dispositif d'actionnement (6) présente au moins un composant photoélectrostrictif (7) et au moins une source de lumière (8). Le composant photoélectrostrictif (7) est couplé mécaniquement à l'élément optique (2) pour transmettre une force de traction et/ou de pression afin de déformer l'élément optique (2). La source de lumière (8) est configurée pour l'éclairage ciblé du composant photoélectrostrictif (7) afin d'induire la force de traction et/ou de pression dans le composant photoélectrostrictif (7).