APPARATUS AND METHOD FOR ALIGNING PLURALITY OF PHOTOMASKS FOR MANUFACTURING FINE METAL MASK FOR LARGE DISPLAY

The present invention relates to an apparatus and method for aligning a plurality of photomasks for manufacturing a fine metal mask for a large display. More specifically, provided is an apparatus for aligning a plurality of photomasks for manufacturing a fine metal mask for a large display, the apparatus being characterized by comprising: an alignment reference part having at least two alignment reference points that are positioned overlapping alignment marks; and an image capturing device mounted at a position at which the image capturing device can capture an image of the overlapping state of the alignment reference part and the alignment marks. One or more of the alignment reference points overlap(s) the alignment marks formed on a first photomask among the plurality of photomasks, and the remainder overlap(s) the alignment marks formed on a second photomask aligned adjacent to the first photomask. La présente invention concerne un appareil et un procédé permettant d'aligner une pluralité de photomasques pour fabriquer un masque métallique fin pour un grand écran. Plus spécifiquement, l'invention concerne un appareil permettant d'aligner une pluralité de photomasques pour fabriquer un masque métallique fin pour un grand écran, l'appareil étant caractérisé en ce qu'il comprend : une partie de référence d'alignement comportant au moins deux points de référence d'alignement qui sont positionnés de façon à chevaucher des repères d'alignement ; et un dispositif de capture d'image monté au niveau d'une position à laquelle le dispositif de capture d'image peut capturer une image de l'état de chevauchement de la partie de référence d'alignement et des repères d'alignement. Un ou plusieurs des points de référence d'alignement chevauchent les repères d'alignement formés sur un premier photomasque parmi la pluralité de photomasques, et les points de référence d'alignement restants chevauchent les repères d'alignement formés sur un second photomasque aligné de manière à être adjacent au premier photomasque. 본 발명은 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치 및 정렬방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정렬 기준점이 적어도 두 개 형성되며, 상기 정렬 기준점은 정렬 마크와 중첩되도록 위치되는 정렬 기준부; 및 상기 정렬 기준부와 정렬 마크의 중첩 상태를 촬영할 수 있는 위치에 장착되는 촬영 장치;를 포함하되, 상기 정렬 기준점 중 적어도 하나는 복수의 포토 마스크 중 제1포토 마스크에 형성된 정렬 마크에 중첩되고, 나머지는 제1포토 마스크에 인접하여 정렬된 제2포토 마스크에 형성된 정렬 마크에 중첩되는 것을 특징으로 하는 대면적 디스플레이용 미세 금속 마스크 제작을 위한 복수의 포토 마스크 정렬장치를 제공한다.