SAMPLE PIECE RELOCATING DEVICE

This sample piece relocating device (10) comprises an optical interferometry device (11), a sample piece carrying device (13) and a control device (21). The control device (21) controls the sample piece carrying device (13) on the basis of information related to a process in which a charged-particle beam device is used to irradiate a sample (S) with a charged-particle beam, thereby preparing a sample piece. The sample piece carrying device (13) controlled by the control device (21) separates and extracts the sample piece from the sample (S) and holds and carries the sample piece to a sample piece holder. L'invention concerne un dispositif de relocalisation de pièce d'échantillon (10) comprenant un dispositif d'interférométrie optique (11), un dispositif de transport de pièce d'échantillon (13) et un dispositif de commande (21). Le dispositif de commande (21) commande le dispositif de transport de pièce d'échantillon (13) sur la base d'informations relatives à un processus dans lequel un dispositif à faisceau de particules chargées est utilisé pour irradier un échantillon (S) avec un faisceau de particules chargées, ce qui permet de préparer une pièce d'échantillon. Le dispositif de transport de pièce d'échantillon (13) commandé par le dispositif de commande (21) sépare et extrait la pièce d'échantillon de l'échantillon (S) et maintient et transporte la pièce d'échantillon vers un support de pièce d'échantillon. 試料片移設装置（１０）は、光干渉計測装置（１１）と、試料片搬送装置（１３）と、制御装置（２１）とを備える。制御装置（２１）は、荷電粒子ビーム装置によって荷電粒子ビームを試料（Ｓ）に照射することによって試料片を作製する加工に関する情報に基づき、試料片搬送装置（１３）を制御する。制御装置（２１）によって制御される試料片搬送装置（１３）は、試料片を試料（Ｓ）から分離及び摘出して、試料片を保持して試料片ホルダに搬送する。