SWITCH ELEMENT AND MEMORY DEVICE

A switch element according to an embodiment of the present disclosure is provided with a first electrode, a second electrode disposed opposite from the first electrode, and a switch layer disposed between the first electrode and the second electrode, wherein the switch layer contains a first element...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: IKARASHI, Minoru, NONOGUCHI, Seiji
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:A switch element according to an embodiment of the present disclosure is provided with a first electrode, a second electrode disposed opposite from the first electrode, and a switch layer disposed between the first electrode and the second electrode, wherein the switch layer contains a first element selected from germanium and silicon, a second element selected from arsenic, phosphorus, and antimony, and a third element selected from selenium and tellurium. At least one each of a first layer and a second layer are stacked in the switch layer. The first layer contains at least one of the second elements and at least one of the third elements, contains the third element in the range of 50-80 atom% as the compositional ratio, and has a negative temperature dependence for the threshold voltage. The second layer contains at least one of the first elements and at least one of the third elements, contains the first element in the range of 20-50 atom% as the compositional ratio, and has a positive temperature dependence for the threshold voltage. Un élément de commutation selon un mode de réalisation de la présente invention comporte une première électrode, une seconde électrode disposée à l'opposé de la première électrode, et une couche de commutation disposée entre la première électrode et la seconde électrode, la couche de commutation contenant un premier élément choisi parmi le germanium et le silicium, un deuxième élément choisi parmi l'arsenic, le phosphore et l'antimoine, et un troisième élément choisi parmi le sélénium et le tellure. Au moins une première couche et une seconde couche sont empilées dans la couche de commutation. La première couche contient au moins l'un des deuxièmes éléments et au moins l'un des troisièmes éléments, contient le troisième élément dans la plage de 50 à 80 % atomique en tant que rapport de composition, et a une dépendance vis-à-vis de la température négative pour la tension de seuil. La seconde couche contient au moins un des premiers éléments et au moins un des troisièmes éléments, contient le premier élément dans la plage de 20 à 50 % atomique en tant que rapport de composition, et a une dépendance vis-à-vis de la température positive pour la tension de seuil. 本開示の一実施形態のスイッチ素子は、第1電極と、第1電極と対向配置された第2電極と、第1電極と第2電極との間に設けられると共に、ゲルマニウムおよびシリコンから選ばれる第1の元素と、ヒ素、リンおよびアンチモンから選ばれる第2の元素と、セレンおよびテルルから選ばれる第3の元素とを含むスイッチ層とを備え、スイッチ層は、第1の層と第2の層とを少なくとも1層ずつ積層し、第1の層は、第2の元素のうちの少なくとも1種と、第3の元素のうちの少なくとも1種を含むと共に、第3の元素を組成比で50原子%以上80原子%以下の範囲で含み、閾値電圧の温度依存