METHOD AND APPARATUS FOR THE DETERMINATION OF THERMAL PROPERTIES OF A MEASUREMENT AREA OF A SAMPLE

The invention relates to a method and apparatus for the determination of thermal properties of a measurement area of a sample mounted in a charged particle analytical apparatus. The method comprises the steps of: a) projecting a charged particle beam on the measurement area of the sample, wherein the charged particle beam is configured to induce both localized heating of the measurement area of the sample and an emission of cathodoluminescent light from the measurement area of the sample; b) collecting cathodoluminescent light from an interaction between the charged particle beam and the sample material at the measurement area and directing said cathodoluminescent light towards a light detecting unit, said light detecting unit is configured to provide a signal which is a measure for a peak wavelength of said cathodoluminescent light; c) determining a temperature of the measurement area of the sample using said signal of the light detecting unit. L'invention concerne un procédé et un appareil de détermination de propriétés thermiques d'une zone de mesure d'un échantillon monté dans un appareil analytique à particules chargées. Le procédé comprend les étapes consistant : a) à projeter sur la zone de mesure de l'échantillon un faisceau de particules chargées conçu pour induire à la fois un chauffage localisé de la zone de mesure de l'échantillon et une émission de lumière cathodoluminescente à partir de la zone de mesure de l'échantillon ; b) à collecter, à partir d'une interaction entre le faisceau de particules chargées et le matériau d'échantillon au niveau de la zone de mesure, une lumière cathodoluminescente dirigée vers une unité de détection de lumière conçue pour fournir un signal, c'est-à-dire une mesure pour une longueur d'onde maximale de ladite lumière cathodoluminescente ; c) à déterminer une température de la zone de mesure de l'échantillon selon ledit signal de l'unité de détection de lumière.