DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND MANUFACTURING METHOD

This defect inspection device for inspecting for a defect in an object under inspection on the basis of an image of the object under inspection comprises a plurality of defect identifiers that use prescribed machine learning models to identify different types of defects on the basis of an image. The types of defects identified by the individual defect identifiers are some of a prescribed number of defect types subject to identification by the defect inspection device. This configuration may be embodied as a defect inspection device, defect inspection method, or manufacturing method. This configuration makes it possible to facilitate defect inspection system management. Ce dispositif d'inspection de défauts permettant d'inspecter un défaut dans un objet en cours d'inspection en fonction d'une image de l'objet en cours d'inspection comprend une pluralité d'identificateurs de défauts qui utilisent des modèles d'apprentissage automatique prescrits pour identifier différents types de défauts en fonction d'une image. Les types de défauts identifiés par les identificateurs de défauts individuels font partie d'un nombre prescrit de types de défauts soumis à une identification par le dispositif d'inspection de défauts. Cette configuration peut être réalisée sous la forme d'un dispositif d'inspection de défauts, d'un procédé d'inspection de défauts ou d'un procédé de fabrication. Cette configuration permet de faciliter une gestion de système d'inspection de défauts. 被検査体の画像に基づき前記被検査体に生ずる欠陥を検査する欠陥検査装置において、画像に基づいて、所定の機械学習モデルを用いてそれぞれ異なる欠陥の種類を判別する欠陥判別器を複数個備え、個々の欠陥判別器が判別する欠陥の種類は、欠陥検査装置が判別対象とする所定数の欠陥の種類の一部である。本実施形態は、欠陥検査装置、欠陥検査方法、製造方法のいずれの形態でも実現できる。本実施形態によれば、欠陥検査におけるシステム管理を容易にすることができる。