SYSTEM FOR A SURFACE TREATMENT OF A SUBSTRATE WITH A FLUID

The present application relates to a system for a surface treatment of a substrate with a fluid and a method for a surface treatment of a substrate with a fluid. The system for a surface treatment of a substrate with a fluid comprises a substrate holder, a cover, and a treatment chamber. The substrate holder is configured to hold the substrate to be treated. The cover is attachable to the substrate holder and configured to cover the substrate at least partially. The treatment chamber comprises a rinsing unit to rinse the cover. The rinsing unit is configured to handle the cover relative to the substrate holder. The treatment chamber further comprises a drying unit to dry the cover. La présente invention concerne un système pour un traitement de surface d'un substrat avec un fluide et un procédé pour un traitement de surface d'un substrat avec un fluide. Le système pour un traitement de surface d'un substrat avec un fluide comprend un porte-substrat, un élément de recouvrement et une chambre de traitement. Le porte-substrat est configuré pour porter le substrat à traiter. L'élément de recouvrement est apte à être attaché au porte-substrat et est configuré pour recouvrir le substrat au moins partiellement. La chambre de traitement comprend une unité de rinçage pour rincer l'élément de recouvrement. L'unité de rinçage est configurée pour manipuler l'élément de recouvrement par rapport au porte-substrat. La chambre de traitement comprend en outre une unité de séchage pour sécher l'élément de recouvrement.