TOPOLOGY-BASED IMAGE RENDERING IN CHARGED-PARTICLE BEAM INSPECTION SYSTEMS

Systems and methods of image alignment are disclosed herein. The method of image alignment may comprise obtaining an image of a sample, obtaining information associated with a corresponding reference image, generating a modified rendered image by blurring a rendered image of the corresponding reference image such that a topology of the rendered image is substantially preserved, wherein a degree of blurring is based on a characteristic of the topology, and aligning the image of the sample with the blurred rendered image. The method may further comprise aligning the image of the sample with the corresponding reference image based on an alignment between the image of the sample and the blurred rendered image. L'invention concerne des systèmes et des procédés d'alignement d'image. Le procédé d'alignement d'image peut consister à obtenir une image d'un échantillon, à obtenir des informations associées à une image de référence correspondante, à générer une image rendue modifiée en floutant une image rendue de l'image de référence correspondante de sorte qu'une topologie de l'image rendue est sensiblement préservée, un degré de flou étant basé sur une caractéristique de la topologie, et à aligner l'image de l'échantillon avec l'image rendue ayant été floutée. Le procédé peut en outre consister à aligner l'image de l'échantillon avec l'image de référence correspondante sur la base d'un alignement entre l'image de l'échantillon et l'image rendue ayant été floutée.