MICROMIRROR ARRAYS

A micromirror array comprising: a substrate; a plurality of mirrors for reflecting incident light; for each mirror of the plurality of mirrors, at least one actuator for displacing the mirror and connected to the substrate; one or more pillars connecting the mirror to the at least one actuator; and for each mirror of the plurality of mirrors, a heat diffuser for diffusing heat from the mirror, the heat diffuser comprising a heat sink and a thermally conductive post connecting the heat sink to the mirror, wherein the heat sink comprises a flexible membrane, which allows the thermally conductive post to pivot when the mirror is displaced, and wherein the flexible membrane comprises a center portion and a peripheral portion, the center portion having a thickness greater than a thickness of the peripheral portion. Un réseau de micromiroirs comprend : un substrat ; une pluralité de miroirs pour réfléchir la lumière incidente ; pour chaque miroir de la pluralité de miroirs, au moins un actionneur pour déplacer le miroir et relié au substrat ; un ou plusieurs piliers reliant le miroir au ou aux actionneurs ; et pour chaque miroir de la pluralité de miroirs, un diffuseur de chaleur pour diffuser de la chaleur à partir du miroir, le diffuseur de chaleur comprenant un dissipateur thermique et un montant thermoconducteur reliant le dissipateur thermique au miroir, le dissipateur thermique comprenant une membrane souple, qui permet au montant thermoconducteur de pivoter lorsque le miroir est déplacé, et la membrane flexible comprenant une partie centrale et une partie périphérique, la partie centrale ayant une épaisseur supérieure à une épaisseur de la partie périphérique.