CARRIER CLEANING HEAD FOR CLEANING A CARRIER MOVING ALONG A TRANSPORT DIRECTION, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, METHOD OF MAINTAINING A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND METHOD OF MANUFACTURING A DEVICE

A carrier cleaning head for cleaning a carrier moving along a transport direction is described. The carrier cleaning head includes a cleaning head body having a first conduit and a second conduit; two or more pairs of brushes, each pair of brushes having a first brush extending in a first direction and a second brush extending in a second direction, opposing the first direction, the pairs of brushes being arranged along the transport direction; a first opening assembly in fluid communication with the first conduit and being configured to provide a purge gas; and a second opening assembly in fluid communication with the second conduit and being configured for particle removal. L'invention concerne une tête de nettoyage de support pour nettoyer un support se déplaçant le long d'une direction de transport. La tête de nettoyage de support comprend un corps de tête de nettoyage ayant un premier conduit et un second conduit ; au moins deux paires de brosses, chaque paire de brosses ayant une première brosse s'étendant dans une première direction et une seconde brosse s'étendant dans une seconde direction, opposée à la première direction, les paires de brosses étant agencées le long de la direction de transport ; un premier ensemble d'ouverture en communication fluidique avec le premier conduit et étant configuré pour fournir un gaz de purge ; et un second ensemble d'ouverture en communication fluidique avec le second conduit et étant configuré pour le retrait de particules.