COMPRESSION SENSOR

[Problem] To provide a compression sensor that can have both flexibility that exhibits compression deformation due to a slight force, and compression resistance when a large force has been repeatedly applied thereto. [Solution] A compression sensor that comprises a spacer and a pair of electrodes separated by the spacer with a gas layer therebetween, and measures compression force working on the sensor by measuring an electrostatic capacity between the electrodes, wherein the spacer material has an ultimate compressive stress of at least 1.0×101 MPa, a compression modulus of at most 5.0×102 MPa, and a compression limit of at least 20%. Le problème à résoudre par la présente invention est de fournir un capteur de compression doté à la fois d'une flexibilité qui présente une déformation par compression due à une légère force, et d'une résistance à la compression lorsqu'une force importante lui a été appliquée de manière répétée. La solution de l'invention porte sur un capteur de compression qui comprend un élément d'espacement et une paire d'électrodes séparées par l'élément d'espacement présentant une couche de gaz entre elles, et qui mesure une force de compression agissant sur le capteur par la mesure d'une capacité électrostatique entre les électrodes, le matériau d'élément d'espacement présentant une contrainte de compression ultime d'au moins 1,0×101 MPa, un module de compression d'au plus 5,0×102 MPa, et une limite de compression d'au moins 20 %. 【課題】僅かな力で圧縮変形する柔軟性と、大きな力が繰り返しかかった場合の耐圧縮性との両立が可能な圧縮センサ提供する。 【解決手段】スペーサと、スペーサにより気体層をおいて離間された一対の電極とを含み、電極間の静電容量を測定することでセンサに働く圧縮力を測定する圧縮センサにおいて、スペーサ材料は、圧縮限界応力が１．０×１０1 ＭＰａ以上であり、圧縮弾性率が５．０×１０2 ＭＰａ以下であり、圧縮限界率が２０％以上である。